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氦质谱检漏仪

真空检漏的一些基本概念

真空检漏的一些基本概念

真空检漏工作针对的就是漏气,也叫实漏,是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙,从高压侧流向低压侧。有实漏,然后对应的有一个虚漏,它是指泄漏的气体是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发或系统内的死空间气体流出等原因使真空系统或容器压力升高,这也是真空检漏工作需要排除的。真空检漏的方法很多,氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。

此外其他的一些基本概念

气密性是指真空系统或容器壁对空气不可渗透程度的一种性能表征;

漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。大气通过其进入真空系统或容器中;

漏率(漏气速率),是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量;

最小可检漏率,是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的最小漏率;

检漏灵敏度,也叫有效灵敏度,指检漏仪器在最佳工作状态下能检出的最小漏率;

反应时间,也称响应时间,是指从检漏方法开始实施(如喷射示漏气体)到指示方法或仪器指示值上升到其最大值的63%时所需要的时间;

消除时间,是指从检漏昂发停止(如停止喷吹示漏气体)到指示方法或仪器指示值下降到停止值的37%时所需的时间;

漏孔堵塞现象,指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔,检漏时似乎不漏气,但一经排气就会出现漏气的一种现象。


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