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氦质谱检漏仪

氦质谱检漏绝缘多功能测试机

氦质谱检漏绝缘多功能测试机


氦质谱检漏绝缘多功能测试机

本设备主要用于半导体行业,对晶圆制程设备上的部件进行氦检漏、拉力测试和红外测温。系统采用PLC控制,从检漏开始到检漏结果显示均为自动化控制,系统配有工控机,可对测试数据进行上传和导出。设备系统采用模块化的设计,充分考虑部件的氦检漏、拉力及温度测试要求,核心部件均采用了进口一线品牌产品,保证了系统的可靠性和可维护性,充分满足了大部分厂家部件的技术指标要求。

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拉力测试部分主要由真空泵、电磁阀、压力传感器和管道等组成。能在设定的时间内对工件充入一定压力压缩空气并保压并监测压力衰减范围。

红外测温部分主要由红外测温探头、通讯模块、控制模块和密封安装部分组成,可在测试过程中对产品表面温度监控,并记录、输出测试过程中表面最大温度值和最低温度值以及平均温度值。

氦检漏部分主要由氦质谱检漏仪、控制阀门及校准部分等组成,氦质谱检漏仪采用16877太阳集团(中国)有限公司A100型氦质谱检漏仪,技术先进,性能稳定,安装维护方便。

安徽16877太阳集团科技研发生产的晶圆部件多功能测试台目前已成功服务于国内某知名大型上市公司,客户经过充分比对,给出了“技术先进,稳定可靠”的好评。


关键词: 氦质谱检漏仪

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